[发明专利]一种叠层高效纳米硅薄膜太阳能电池

摘要

本发明为一种叠层高效纳米硅薄膜太阳能电池。其光热稳定性好，转换效率高，稳定性、可靠性较好，生产成本低。其包括材质为玻璃或有机薄膜的电池底层(1)，底层(1)设置有PIN结构，所述PIN结构包括导电膜(2)，在导电膜(2)上生长一层掺硼的P型非晶硅薄膜(3)，改变薄膜的晶态比值χc制成变带隙纳米硅缓冲层(4)，在变带隙缓冲层(4)上通以磷烷(PN₃)生长一层N型纳米硅薄膜(5)，硅薄膜(5)上覆盖电极Ag/Al，其特征在于：变带隙纳米硅缓冲层(4)的晶态比值χc为40－53，所述PIN结构叠加，位于最底层的PIN结构导电膜(2)覆盖于底层(1)，电极Ag/Al覆盖于位于最顶层的PIN结构的硅薄膜(5)。

主权项

1、一种叠层高效纳米硅薄膜太阳能电池，其包括材质为玻璃或有机薄膜的电池底层(1)，底层(1)设置有PIN结构，所述PIN结构包括导电膜(2)，在导电膜(2)上生长一层掺硼的P型非晶硅薄膜(3)，改变薄膜的晶态比值xc制成变带隙纳米硅缓冲层(4)，在变带隙缓冲层(4)上通以磷烷(PN3)生长一层N型纳米硅薄膜(5)，硅薄膜(5)上覆盖电极Ag/Al，其特征在于：变带隙纳米硅缓冲层(4)的晶态比值xc为40-53，所述PIN结构叠加，位于最底层的PIN结构导电膜(2)覆盖于底层(1)，电极Ag/Al覆盖于位于最顶层的PIN结构的硅薄膜(5)。