[发明专利]一种超净高纯电子级双氧水的制造工艺及设备有效
| 申请号： | 200810024673.5 | 申请日： | 2008-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN101249953A | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 刘鸣;赵云翰;严增源;袁燕萍 | 申请（专利权）人： | 苏州市晶协高新电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B15/013 | 分类号： | C01B15/013 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 | 代理人： | 董建林;薛伯奇 |
| 地址： | 215151江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种超净高纯电子级双氧水的制造工艺及设备，包括使含杂质的双氧水水溶液通过离子吸附柱及离子交换柱，对其进行吸附及离子交换，方法中提供与冷凝器连接的冷泵、与吸附柱及交换柱入口连接的纯水槽，严格控制双氧水的温度。本发明工艺及设备采用冷却泵代替传统的循环水制冷技术，能严格控制冷却温度，得到纯度高，稳定性好的双氧水，节能环保，全程电脑控制，采用新型的PVDF(聚偏氟乙烯)材质以及自动化控制设备操作系统，有效避免事故的发生，使用安全。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 净高 电子 双氧水 制造 工艺 设备 | ||
【主权项】：
1. 超净高纯电子级双氧水的制造工艺，包括使含杂质的双氧水水溶液通过离子吸附柱吸附有机碳，然后进入中间罐，经过冷凝器降温后输入阴阳离子交换柱进行离子交换，对其进行提纯，方法中提供与冷凝器连接的冷泵、与吸附柱及交换柱入口连接的纯水槽，严格控制双氧水的温度，上述工艺过程的运行压力控制在0.2Mpa以下，温度控制30℃以下。
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