[发明专利]一种中红外高损伤阈值的激光器谐振腔薄膜

摘要

本发明涉及一种中红外高损伤阈值的激光器谐振腔薄膜，包括包括在基底双面对称镀制的膜系，其中一面的结构为：G|M₁M₂ (HL)^sH|A，G为石英基底，M₁为加强膜，M₂为金属膜，H为高折射率材料层，L为低折射率材料层，S为(HL)的层数，(HL) ^SH为介质膜。其中高折射率材料为Ta₂O₅、TiO₂或ZnS，低折射率材料为SiO₂、Al₂O₃或MgF₂，金属膜为Au或Ag，加强膜为Cr。本发明在满足中红外激光器对反射波长以及反射率要求的同时，提高了激光器全反射腔镜的损伤阈值和使用寿命。

主权项

1、一种中红外高损伤阈值的激光器谐振腔薄膜，其特征是包括在基底双面对称镀制的膜系，其中一面的结构为：G|M1M2(HL)sH|A，G为石英基底，M1为加强膜，M2为金属膜，H为高折射率材料层，L为低折射率材料层，S为(HL)的层数，(HL)SH为介质膜。