[发明专利]一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法无效
申请号: | 200810027271.0 | 申请日: | 2008-04-07 |
公开(公告)号: | CN101280413A | 公开(公告)日: | 2008-10-08 |
发明(设计)人: | 徐刚;黄春明;陈丽华;黄华凛;侯乃升 | 申请(专利权)人: | 中国科学院广州能源研究所 |
主分类号: | C23C14/08 | 分类号: | C23C14/08;C23C14/02;C23C14/35;C23C14/54 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司 | 代理人: | 莫瑶江 |
地址: | 510640广东省广州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明利用晶体生长的模板诱导作用原理,提供了一种二氧化钒薄膜在玻璃衬底上的低温沉积方法。以玻璃为衬底,依次包括如下步骤:(a)玻璃衬底的清洗与预处理;(b)制备二氧化硅扩散阻隔层;(c)制备金属氧化物缓冲层;(d)制备二氧化钒热色层。本发明采用的金属氧化物缓冲层材料在可见光区域透明、结晶温度低、晶形与二氧化钒能够很好匹配,在二氧化钒薄膜的生长过程能产生模板诱导作用,从而可大幅降低二氧化钒薄膜的沉积温度。简化二氧化钒智能玻璃的制备工艺,降低成本,节约能耗,大大降低了二氧化钒智能玻璃产业化过程的难度。 | ||
搜索关键词: | 一种 氧化 薄膜 玻璃 低温 沉积 方法 | ||
【主权项】:
1.一种二氧化钒薄膜在玻璃上的低温沉积方法,以玻璃为衬底,其特征在于依次包括如下步骤:(a)玻璃衬底的清洗与预处理;(b)制备二氧化硅扩散阻隔层;(c)制备金属氧化物缓冲层,所述金属氧化物缓冲层是可见光区域透明、结晶温度低、晶形与二氧化钒能够匹配的半导体材料;(d)制备二氧化钒热色层。
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