[发明专利]消除静态腐蚀时光纤探针表面蜂窝状粗糙形貌的方法

摘要

本发明公开了一种消除光纤探针表面形成的蜂窝状粗糙形貌的方法，通过对经典静态腐蚀方法制备光纤探针的改进，采用二次腐蚀方法可以有效的消除光纤探针表面蜂窝状粗糙形貌，并增大光纤探针锥角，效果十分显著。适合推广应用于近场光学探针、光子扫描隧道显微镜探针的制备，特别有利于减少由于粗糙表面造成的探针性能的降低，有利于提高金属镀膜的性能。本发明为消除静态腐蚀制备光纤探针时探针锥尖表面产生的固有蜂窝状粗糙形貌提供了一种新方法。

主权项

1、一种消除光纤探针表面形成的蜂窝状粗糙形貌的方法，其特征在于包括如下步骤：(1)光纤的预处理：除去光纤包层，将其切成1～5cm的长度，并依次用氯仿、酒精、去离子水清洗干净；(2)腐蚀溶液和保护液二元体系的配制：以HF和H2O或NH4F、HF和H2O为腐蚀溶液，采用与腐蚀溶液不相溶的有机溶液作为保护溶液覆盖在刻蚀溶液上面；(3)光纤化学腐蚀制备光纤探针：将步骤(1)得到的光纤一端垂直浸在步骤(2)配制好的二元体系中，且光纤的下端暴露在腐蚀溶液中，直至针尖刻蚀完成，刻蚀出的光纤针尖保持停留在保护液中；(4)光纤探针的修饰：改变光纤探针与所述二元体系的相对位置，使光纤相对于腐蚀溶液与保护溶液之间的界面向下垂直运动，并突破所述界面达到刻蚀溶液后静置，进行第二次腐蚀；(5)光纤探针的清洗：将步骤(4)得到的光纤探针分别用肥皂水、去离子水、丙酮清洗干净。