[发明专利]一种氧化钨铅笔状纳米结构阵列的生长方法无效

专利信息
申请号: 200810029310.0 申请日: 2008-07-08
公开(公告)号: CN101353816A 公开(公告)日: 2009-01-28
发明(设计)人: 许宁生;李政林;邓少芝;陈军 申请(专利权)人: 中山大学
主分类号: C30B29/16 分类号: C30B29/16;C30B23/00;C30B25/00;C30B29/62;C01G41/02;B82B3/00
代理公司: 广州新诺专利商标事务所有限公司 代理人: 华辉
地址: 510275广*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明涉及一种氧化钨铅笔状纳米结构阵列的生长方法。以金属钨粉末和氧化钨粉末为蒸发源,以耐高温的材料为衬底,氧化钨铅笔状纳米结构合成在加热装置里进行。在真空环境中,在保护气氛环境下,通入小量的氧气,采用多步加热方法控制蒸发源和衬底的温度,在衬底上依次生长形成氧化钨纳米核、纳米棒阵列、低密度纳米棒阵列和铅笔状纳米结构阵列。本方法可以推广应用到基于热蒸发沉积法的、其它材料铅笔状纳米结构的制备。铅笔状纳米结构具有高的电场增强因子,可以在低电场下获得场致电子发射的性能,它可以作为冷阴极材料应用在冷阴极电子源、场发射平板显示器和冷阴极发光器件上。
搜索关键词: 一种 氧化钨 铅笔 纳米 结构 阵列 生长 方法
【主权项】:
1、一种氧化钨铅笔状纳米结构阵列的生长方法,其特征在于:在真空环境中,在保护气氛环境下,通入小量的氧气,采用多步加热方法控制钨蒸发源和衬底的温度,在衬底上依次生长形成氧化钨纳米核、纳米棒阵列、低密度纳米棒阵列和铅笔状纳米结构阵列。
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