[发明专利]基于原子力显微探针为焊枪的纳米锡焊方法

摘要

本发明涉及一种纳米技术领域的基于原子力显微探针为焊枪的纳米锡焊方法，具体为：选择原子力显微探针、焊锡材料和焊接模式；采用原子力显微镜找到要焊接纳米元件，即对拟焊接点准确定位；在探针上蘸取焊锡后，原子力成像扫描找到原位即第二步中选择的纳米器件，并记录高度图像，缩小扫描的范围锁定在纳米元件要焊接的部位，在原子力显微镜探针上施加偏压，使探针接触到纳米元件表面，保持扫描，实施焊接，焊接完成后，去除偏压返回正常的原子力显微镜成像状态，检测焊接结果，并记录焊接结果；重在纳米元件上实施多处纳米焊接，并记录焊接的结果。本发明是对纳米元件实施的一种定位准确的、焊点尺寸可控的、自动化程度高的、普适性强的纳米“锡焊”技术。

主权项

1.一种基于原子力显微探针为焊枪的纳米锡焊方法，其特征是，包括以下步骤：第一步，根据实施焊接的纳米元件和基底材料的物理性质，选择原子力显微探针、焊锡材料和焊接模式；第二步，采用原子力显微镜找到要焊接的纳米元件，并记录纳米元件的高度图像，对拟焊接点进行准确定位；第三步，在探针上蘸取焊锡后，原子力成像扫描找到原位即第二步中选择的纳米器件，并记录高度图像，缩小扫描的范围锁定在纳米元件要焊接的部位，在原子力显微镜探针上施加偏压，使探针接触到纳米元件表面，保持扫描，实施焊接，焊接完成后，去除偏压返回正常的原子力显微镜成像状态，检测焊接结果，并记录焊接结果；第四步，重复第三步在纳米元件上实施多处纳米焊接，并记录焊接的结果。