[发明专利]三自由度反射镜调整装置无效
| 申请号： | 200810032841.5 | 申请日： | 2008-01-21 |
| 公开（公告）号： | CN101216590A | 公开（公告）日： | 2008-07-09 |
| 发明（设计）人： | 王洪尊 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/182 | 分类号： | G02B7/182 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种三自由度反射镜调整装置，其利用万向节的多自由度工作原理，实现反射镜倾斜和俯仰的调节，同时通过控制调节基座与反射镜镜框之间的距离来实现另一自由度线位移的调节。该调整装置包括：一反射镜镜框和一调节基座，其中该反射镜镜框一侧安装有一反射镜，另一侧与调节基座相对；一线位移调整件，连接上述反射镜镜框与调节基座，该线位移调整件的一端万向连接于反射镜镜框与调节基座相对的一侧，另一端轴向连接调节基座，其中该线位移调整件与反射镜镜框的连接位置与上述反射镜的几何中心处相对应。 | ||
| 搜索关键词： | 自由度 反射 调整 装置 | ||
【主权项】：
1.一种反射镜调整装置，包括一反射镜镜框和一调节基座，其中该反射镜镜框一侧安装有一反射镜，另一侧与调节基座相对，其特征是，该反射镜调整装置还包括：一线位移调整件，连接上述反射镜镜框与调节基座，其一端万向连接于反射镜镜框与调节基座相对的一侧，另一端轴向连接调节基座，其中该线位移调整件与反射镜镜框的连接位置与上述反射镜的几何中心处相对应。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200810032841.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
