[发明专利]光刻机投影物镜偶像差原位检测系统及检测方法

摘要

一种光刻机投影物镜偶像差原位检测系统及检测方法，所述系统包括光源、照明系统、测试掩模、掩模台、投影物镜、工件台、安装在所述工件台上的像传感装置、数据采集卡以及计算机。所述像传感装置包括孔径光阑、成像物镜、光电探测器。所述测试掩模包含一种用于偶像差原位检测的测试标记，由0°、45°、90°、135°四个方向的移相光栅标记组成，光栅的线空比经过优化，达到最大的像差灵敏度。所述的检测方法，是在不同的数值孔径和部分相干因子设置下，通过像传感装置测量所述测试标记的最佳焦面偏移量，然后标定所述投影物镜的偶像差灵敏度系数，再利用偶像差灵敏度系数计算得到所述投影物镜的偶像差。本发明的优点是提高了偶像差的检测精度。

主权项

1.一种光刻机投影物镜偶像差原位检测系统，包括产生照明光束的光源(1)，用于调整所述光源(1)发出的光束的束腰尺寸、光强分布和部分相干因子和照明方式的照明系统(2)，能承载测试掩模(3)并精确定位的掩模台(4)，能将掩模图形成像且其数值孔径可调的投影物镜(5)，能精确定位的工件台(6)，安装在工件台(6)上的测量测试掩模(3)上的图形成像位置的像传感装置(7)，其特征在于所述测试掩模(3)由0°方向偶像差测量标记(31)、45°方向偶像差测量标记(32)、90°方向偶像差测量标记(33)和135°方向偶像差测量标记(34)组成，所述的0°方向偶像差测量标记(31)、45°方向偶像差测量标记(32)、90°方向偶像差测量标记(33)和135°方向偶像差测量标记(34)的移相光栅标记，所述像传感装置(7)由依次相连的孔径光阑(71)、成像物镜(72)、光电探测器(73)、数据采集卡(74)和计算机(75)组成。