[发明专利]一种晶圆运输车

摘要

本发明公开了一种晶圆运输车。现有的多层固定式搁架手推车所设置的搁架高度不符合人体工程学原理，且高度无法调节，使得作业人员从搁架上取放晶盒时容易伤及背部和腰部，长期作业对健康危害很大。为解决上述问题，本发明提供了一种具有可活动式搁架的晶圆运输车，其包括车身和两层搁架，采用了不同的上搁板设计，配合相应的升降驱动装置，可方便地实现下搁板的升降。采用本发明的运输车可将搁架调到符合人体工程学原理的高度，从而避免作业人员的人体损伤。

主权项

1.一种晶圆运输车，包括底座、车身、两层搁板和升降驱动装置，所述搁板用于承载存放晶圆的晶盒，其特征在于：所述下搁板在升降驱动装置的驱动下可向上升起，具体地，所述上搁板由两块挡板铰接至一轴杆而组成，所述轴杆固定在车身的支架上，两块挡板可绕轴杆转动，并具有一展开状态和一收拢状态；所述的升降驱动装置包括两组滑轮，该两组滑轮固定在车身上，且每组滑轮上均跨设有拉绳，所述拉绳的一端固定在下搁板上，通过拉动拉绳的另一端可升起下搁板。