[发明专利]氟代聚对二甲苯的涂敷方法及涂敷专用设备无效
| 申请号： | 200810034666.3 | 申请日： | 2008-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN101240415A | 公开（公告）日： | 2008-08-13 |
| 发明（设计）人： | 张芳江 | 申请（专利权）人： | 上海立科药物化学有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/00 | 分类号： | C23C16/00;C23C16/44;C23C16/52 |
| 代理公司： | 上海东亚专利商标代理有限公司 | 代理人： | 董梅 |
| 地址： | 200062上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及氟代聚对二甲苯的涂敷方法及涂敷专用设备，尤其是采用气相沉积涂敷方法，以及用于该涂敷方法的设备。一种氟代聚对二甲苯的涂敷方法，是将氟代聚对二甲苯原料气化、裂解成活性单体，被涂敷材料在密闭压力容器内，在真空度40－60Pa和250－350℃条件活性单体聚合沉积在被涂敷材料表面形成涂敷层。所述的涂敷设备包括气化裂解室、聚合沉积室、冷阱、节流阀、真空机械泵、制冷机，其中，气化裂解室与聚合沉积室连通，聚合沉积室与冷阱连通，真空机械泵通过节流阀与聚合沉积室连通，冷阱通过制冷机制冷。本发明方法使氟代聚对二甲苯牢固地与图书、文献等资料涂敷复合为一体，不仅能很好地被涂敷材料，同时提高涂敷效率，降低涂敷成本。 | ||
| 搜索关键词： | 氟代聚 二甲苯 方法 专用设备 | ||
【主权项】：
1、一种氟代聚对二甲苯的涂敷方法，将氟代聚对二甲苯原料气化、裂解成活性单体，被涂敷材料在密闭压力容器内，在真空度40-60Pa和250-350℃条件活性单体沉积在被涂敷材料表面形成涂敷层。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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