[发明专利]集成于芯片上的电感器及相应的集成方法无效
申请号: | 200810035112.5 | 申请日: | 2008-03-25 |
公开(公告)号: | CN101320618A | 公开(公告)日: | 2008-12-10 |
发明(设计)人: | 胡恒升 | 申请(专利权)人: | 上海集成电路研发中心有限公司 |
主分类号: | H01F17/04 | 分类号: | H01F17/04;H01F27/245;H01L27/04 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人: | 屈蘅 |
地址: | 201203上海市张江高科*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种集成于芯片上的电感器及相应的集成方法。该电感器包括:多个相叠的磁芯层构成的磁芯与电感线圈,电感线圈包括多层金属布线以及连接相邻金属布线的金属孔线,其中每层金属布线围绕一磁芯层,金属孔线垂直于金属布线。其利用集成电路大规模、小体积的优势,分多个层次将电感器集成到芯片有源器件区的上部,而获得带有磁芯的高性能、垂直式的电感器。 | ||
搜索关键词: | 集成 芯片 电感器 相应 方法 | ||
【主权项】:
1.一种集成于芯片上的电感器,其特征是,该电感器包括:一磁芯,包括多个相叠的磁芯层;一电感线圈:包括:多层金属布线,其中每层金属布线围绕一磁芯层;以及连接相邻金属布线的金属孔线,其垂直于所述金属布线。
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