[发明专利]硅片对准信号采集与处理系统及使用该系统的处理方法有效
| 申请号： | 200810035115.9 | 申请日： | 2008-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN101246314A | 公开（公告）日： | 2008-08-20 |
| 发明（设计）人： | 李运锋;陈延太;韦学志;陈勇辉;周畅 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种硅片对准信号采集与处理系统，该系统能够实时完成光信号到电信号的采集、滤波、调制与解调等功能，以及位置数据的同步采集与处理，并通过采样信号的拟合处理，实现光刻装置的硅片对准功能。本发明同时还提供了一种硅片对准信号的处理方法，该方法采用高阶非线性信号拟合模型，利用分步拟合处理方法，首先获得采样信号的包络线参数，将高阶的非线性模型转化为1阶线性模型，然后在此基础上获得采样信号的相位信息。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 对准 信号 采集 处理 系统 使用 方法 | ||
【主权项】：
1、一种硅片对准信号采集与处理系统，其特征在于，包括：光解调器，用于将光强信号转换为电压信号；光强模数转换器，用于提供所述电压信号到数字信号的采样与输出；激光干涉仪，用于提供对准扫描过程工件台x、y向位移的测量；位置数据处理器，用于将所述工件台位移转换为基底台的位置采样坐标；时序控制器，用于提供所述光强采样与位置采样的同步触发信号；与对准信号处理器，用于提供硅片对准信号的处理与拟合，确定对准位置。
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