[发明专利]紫外电学定标热释电探测器无效
| 申请号： | 200810035499.4 | 申请日： | 2008-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN101251422A | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 邵秀梅;于月华;丁洁莹;方家熊 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G01J5/10 | 分类号： | G01J5/10 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 郭英 |
| 地址： | 20008*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种紫外辐射电学定标热释电探测器，包括：悬空封装在金属管壳内的芯片，该芯片由热释电晶片，在整个热释电晶片的上表面依次沉积金属上电极层、聚酰亚胺绝缘屏蔽层、既能吸收紫外辐射又能通过导电加热的多壁碳纳米管薄膜，在热释电晶片的下表面沉积有信号电极层组成。本发明的最大优点为采用多壁碳纳米管作为紫外导电吸收膜，与目前已有专利中采用金黑导电吸收膜相比，更能高效吸收紫外辐射，具有更好的导热性能，增强光电等效性，减小定标误差，而且多壁碳纳米管薄膜性能稳定。采用聚酰亚胺作为绝缘屏蔽层，能与微电子工艺兼容，薄膜的厚度和均匀性能准确控制，而且具有良好的热稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 电学 定标 热释电 探测器 | ||
【主权项】：
1.一种紫外辐射电学定标热释电探测器，包括：悬空封装在金属管壳(8)内的芯片(7)，该芯片由热释电晶片(5)，在整个热释电晶片的上表面依次沉积有金属上电极层(4)、绝缘屏蔽层(3)、光吸收导电加热层(1)，在热释电晶片的下表面沉积有信号电极层(6)组成，其特征在于：所说的光吸收导电加热层(1)是一层既能吸收紫外辐射又能通过导电加热的多壁碳纳米管薄膜，在多壁碳纳米管薄膜两边沉积有对其导电加热的引线电极层(2)。
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