[发明专利]一种扫描探针显微镜三维校准用胶体球标样的制备方法

摘要

本发明属于扫描探针显微镜技术领域，具体为一种扫描探针显微镜三维校准用胶体球标样的制备方法。本发明采用改进的垂直沉积方法，将一片新鲜解离的云母基片垂直插入适当浓度的单分散胶体球溶液中，将垂直沉积系统置入恒温恒湿箱中，严格控制箱内温度和湿度，直至溶液完全挥发，即可获得类光栅状单层有序密排胶体球标样，该标样可用于扫描探针显微镜X、Y和Z方向压电扫描管的校准。

主权项

1.一种扫描探针显微镜三维校准用胶体球标样的制备方法，其特征在于具体步骤如下：(1)将单分散的胶体球溶液稀释至质量浓度为0.01-0.02％，并取胶体球溶液置于烧杯中；(2)以云母为基片，将云母解离，垂直插入烧杯并部分浸没于胶体球溶液中；(3)将垂直沉积系统移至一恒温恒湿箱内，并将箱内温度控制为50℃-65℃，湿度控制为60％-80％；(4)胶体溶液挥发，胶体球在云母基片表面自组装成有序结构；(5)待溶液挥发完之后，由箱内取出烧杯，取出云母基片，在基片表面即可获得类光栅状单层有序密排的胶体球标样。