[发明专利]一种射频电源测试装置有效
| 申请号： | 200810036582.3 | 申请日： | 2008-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN101566674A | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 黄国伟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/40 | 分类号： | G01R31/40 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种射频电源测试装置，其包括：电源控制模块，用于控制上述射频电源的开关；电源调节模块，用于调节上述射频电源的输出功率大小；功率测量模块，用于测量上述射频电源的输出功率和反射功率；以及状态显示模块，用于显示上述射频电源的工作状态和上述功率测量的结果。本发明提出的半导体制造设备中的射频电源的测试装置，可直接使用射频电源内部的辅助直流电源作为其工作电源，不需要再使用外接电源，而且可以同时显示输出功率和反射功率的测量结果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 电源 测试 装置 | ||
【主权项】：
1.一种射频电源测试装置，其特征在于包括：电源控制模块，用于控制上述射频电源的开关；电源调节模块，用于调节上述射频电源的输出功率大小；功率测量模块，用于测量上述射频电源的输出功率和反射功率；以及状态显示模块，用于显示交直流电源和上述射频电源的工作状态和上述功率测量的结果。
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