[发明专利]二维编码归一化对准标记组合及其对准方法和对准系统

摘要

本发明公开了一种二维编码归一化对准标记组合及其对准方法和对准系统，所述二维编码归一化对准标记组合由置于对准系统目标构图部件上的多孔形对准标记和置于探测构图部件上的单孔形对准标记组成；所述多孔形对准标记由二维编码透光内核、四个对角线二维编码透光元件和一镀铬屏蔽层构成，所述单孔形对准标记由透光元件和镀铬屏蔽层构成。所述方法采用探测构图部件上的单孔形对准标记及其下面的探测装置，对目标构图部件上多孔形对准标记所成的像做两次二维对准扫描，并综合两次扫描所获得的辐射测量信息和位置测量信息进行对准信号处理，获得目标构图部件承载台上目标构图部件经投影系统所成空间像，相对探测构图部件承载台的位置关系。

主权项

1、一种二维编码归一化对准标记组合，其特征在于：所述的二维编码归一化对准标记组合由置于一对准系统目标构图部件上的多孔形对准标记和置于一对准系统探测构图部件上的单孔形对准标记组成；所述的多孔形对准标记由二维编码透光内核、四个对角线二维编码透光元件和一镀铬屏蔽层构成，所述的四个对角线二维编码透光元件分布在所述二维编码透光内核的对角线向外延伸的四个方向上，且每个对角线二维编码透光元件均有一个顶点与相应的对角线延伸段的顶点重合，所述镀铬屏蔽层分布于该二维编码透光内核和四个对角线二维编码透光元件以外的区域；所述的单孔形对准标记由透光元件和镀铬屏蔽层构成，所述的透光元件是正方形孔状结构，所述镀铬屏蔽层分布于该透光元件以外的区域。