[发明专利]一种纳米复合相变材料的制备方法有效
申请号: | 200810038907.1 | 申请日: | 2008-06-13 |
公开(公告)号: | CN101299454A | 公开(公告)日: | 2008-11-05 |
发明(设计)人: | 张挺;宋志棠;刘波;刘卫丽;封松林;陈邦明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00;G11C11/56;G11C16/02;G11B7/26 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人: | 潘振甦 |
地址: | 200050*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种纳米复合相变材料的制备方法。特征在于利用相变材料中各个原素之间不同的化学性能,在相变材料制备过程中通入适量反应气体,使相变材料中的一种或者多种元素在材料生长过程中优先与反应气氛反应并形成固体化合物,与反应剩余相变材料形成复合材料:化合物将相变材料分隔成形状和大小可控的、均匀的、微小的区域,从而把相变材料的相变行为限制在小区域内,减小了相变材料的晶粒;同时因为形成的固体化合物与相变材料间“取长补短”,充分弥补了单一材料的缺点,产生了单一材料所不具备的优越的性能。纳米复合相变材料应用到相变存储器中,不仅提升了相变存储器的加热效率,降低了器件的功耗,而且又提高了器件存储速度、数据保持能力等。 | ||
搜索关键词: | 一种 纳米 复合 相变 材料 制备 方法 | ||
【主权项】:
1、一种纳米复合相变材料的制备方法,其特征在于相变材料的制备过程中通入反应气体,使气体在材料生长过程中优先与相变材料中的一种或者多种元素反应,生成固体化合物,与反应剩余的相变材料形成复合材料,生成的固体化合物将具有相变能力的材料分散成形状和大小可控的微小区域,这种分散作用使材料的相变行为被限制在微小区域内;所述的通入的反应气体能与相变材料中的某一元素发生化学反应。
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