[发明专利]一种微光刻照明光瞳的整形结构有效
| 申请号： | 200810039150.8 | 申请日： | 2008-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN101320216A | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 李仲禹 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/09;G02B27/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微光刻照明光瞳的整形结构，所述整形结构包括依次以光学连结的衍射光学元件、连续变焦透镜组、以及后接所述连续变焦透镜组的由两个凸圆锥镜组成的光瞳调节器。本发明具有易于加工、机械夹持方便的优点，且运行时可避免摩擦光学元件表面的光学镀膜层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微光 明光 整形 结构 | ||
【主权项】：
1、一种微光刻照明光瞳的整形结构，包括依次以光学连结的衍射光学元件、连续变焦透镜组，其特征在于：还包括后接于所述连续变焦透镜组的由两个凸圆锥镜组成的光瞳调节器。
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