[发明专利]同心环光学谐振腔的生物芯片及其阵列实施器件无效
申请号: | 200810039560.2 | 申请日: | 2008-06-26 |
公开(公告)号: | CN101303341A | 公开(公告)日: | 2008-11-12 |
发明(设计)人: | 李晓慧;苏翼凯;仇旻 | 申请(专利权)人: | 上海交通大学 |
主分类号: | G01N33/48 | 分类号: | G01N33/48;G01N21/00 |
代理公司: | 上海交达专利事务所 | 代理人: | 王锡麟;王桂忠 |
地址: | 200240*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及的是一种光器件技术领域的同心环光学谐振腔的生物芯片及其阵列实施器件,其生物芯片由设置在绝缘体上的硅结构上的直的纳米硅波导和微波导环形谐振腔组成,微波导环形谐振腔由多于两个的硅波导环同圆心设置,直的纳米硅波导与微波导环形谐振腔通过第一空气间隙直接耦合,微波导环形谐振腔中波导环之间通过第二空气间隙耦合。其阵列实施器件由激光源、入射光探测计、出射光探测计、第一个芯片检测单元、第二个芯片检测单元和直的纳米硅波导组成。本发明可以大幅增加检测的面积和灵敏度,达到同时检测多种分子的目的,同时具有集成度高,制作工艺简单,设计灵活性高的特点。 | ||
搜索关键词: | 同心 光学 谐振腔 生物芯片 及其 阵列 实施 器件 | ||
【主权项】:
1.一种同心环光学谐振腔的生物芯片,其特征在于:由设置在绝缘体上的硅结构上的直的纳米硅波导和微波导环形谐振腔组成,微波导环形谐振腔由多于两个的硅波导环同圆心设置,直的纳米硅波导与微波导环形谐振腔通过第一空气间隙直接耦合,所述的第一空气间隙,是指:直的纳米硅波导与微波导环形谐振腔的外环硅波导之间的空气间隙;微波导环形谐振腔中波导环之间通过第二空气间隙耦合,所述的第二空气间隙,是指:微波导环形谐振腔中环与环之间的空气间隙。
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