[发明专利]一种调焦调平探测装置及方法

摘要

一种调焦调平探测装置及方法，装置的测量光路在投影物镜光轴的两侧，由照明、投影、成像及探测诸单元组成，特点是对应一个光斑的探测狭缝阵列的多个探测狭缝，其中的一个探测狭缝用于精测，其他的狭缝用于粗测；由多个探测狭缝和多个探测器根据它们的一一对应关系来探测一个光斑的位置，实现对硅片表面的高精度大范围的高度和倾斜度测量；替换该特征元素，从探测狭缝阵列中取出若干探测狭缝布置成队列，依借冗余探测狭缝来实现对硅片表面高精度大范围的高度和倾斜度测量；所述方法处理步骤依次为：对探测器转出信号处理、探测狭缝判断和测量结果输出。本发明具有结构简单测量精度高的优点。

主权项

1、一种调焦调平探测装置，其测量光路分布于投影物镜光轴的两侧，包括依次以光路联结的照明单元、投影单元、成像单元及探测单元，其中：照明单元主要由光源、透镜组及光纤组成；投影单元主要由反射镜组、狭缝及透镜组组成；成像单元主要由反射镜组、透镜组及平行偏转补偿板组成；探测单元主要由扫描反射镜、探测狭缝阵列及探测器阵列组成，其特征在于：在对应一个光斑的探测狭缝阵列中的多个探测狭缝，由其中一个探测狭缝用于精测，其他的探测狭缝用于粗测；由多个探测狭缝和多个探测器根据探测器阵列与探测狭缝阵列所存在的一一对应关系来探测一个光斑的位置，从而实现对硅片表面的高精度大范围的高度和倾斜度测量。