[发明专利]纳米氧化铈复合磨粒抛光液的制备方法

摘要

本发明公开了一种纳米氧化铈复合磨粒抛光液的制备方法，本发明的特点是以无机研磨粒子为内核，以氧化铈包覆层为外壳，形成核/壳型结构的纳米氧化铈复合磨粒抛光液，属高精密抛光材料制备工艺技术领域。本发明抛光液的制备过程是：先用均相沉淀法制得纳米氧化铈复合磨粒，然后由氧化铈复合磨粒制备抛光液。抛光液的制备过程中，氧化铈复合磨料和水的重量配比为2～10％，加入分散剂0.5～2％，混合物经进一步超声分散或球磨分散后，形成均匀的分散液，随后加入氧化剂0.5～5％，缓蚀剂0.05～0.1％，润滑剂0.05～0.1％(各物量的加入量以水100为参照基准)，此即为纳米氧化铈复合磨粒抛光液。本发明的抛光液表现出具有很低的表面粗糙度及划痕水平，得到超光滑的表面。

主权项

1.一种纳米氧化铈复合磨粒抛光液的制备方法，其特征在于具有以下的过程和步骤：a.氧化铈复合磨粒的制备：在无机研磨剂粒子表面包覆氧化铈，即以无机研磨剂粒子为内核，以氧化铈包覆层为外壳，形成核/壳型结构；氧化铈与无机研磨剂的相对含量为30～60％；所述的无机研磨剂粒子选自氧化硅、氧化铝、氧化锆、氧化钛中的任一种；无机研磨剂粒子表面包覆氧化铈的制备方法采用均相沉淀法，最终得到纳米氧化铈复合磨粒；b.由氧化铈复合磨粒制备抛光液：将上述的氧化铈复合磨粒加入到水中，氧化铈复合磨料与水的重量比为2～10％；加入分散剂，其用量为0.5～2％；用机械搅拌机搅拌，使分散均匀；将上述混合液进一步用超声分散或球磨分散，使形成均匀的分散液；然后加入氧化剂，其用量为0.5～5％；再加入缓蚀剂0.05～0.1％；加入润滑剂0.05～0.1％，此即为纳米氧化铈复合磨粒抛光液；所述的氧化剂为双氧水、过硫酸、硝酸中的任一种；所述的分散剂为六偏磷酸钠、聚乙二醇中的任一种；所述的缓蚀剂为苯并三氮唑；所述的润滑剂为磷酸酯。