[发明专利]一种相变存储器器件单元结构及其制作方法有效
| 申请号： | 200810041393.5 | 申请日： | 2008-08-05 |
| 公开（公告）号： | CN101335328A | 公开（公告）日： | 2008-12-31 |
| 发明（设计）人： | 吴良才;宋志棠;饶峰;封松林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00;H01L27/24;G11C11/56;G11C16/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种相变存储器器件单元结构及其制作方法，其特征在于将器件单元中的相变材料和加热电极的横向尺度控制在同一纳米区域范围，构成小加热电极操作小相变材料的结构。其制作方法是首先在衬底上制备介质材料层，然后通过标准的深亚微米工艺或FIB技术在介质材料层中制作出相变存储单元的加热电极，接着进行化学机械抛光，形成镶嵌在介质材料中的纳米加热电极，最后将加热电极顶部刻蚀掉一定厚度，从而在电极上端形成介质孔洞，在孔洞中填充相变材料，引出上电极，最终形成同时具有小电极和小相变材料的存储单元结构。优点是将相变材料限制在加热电极上端的介质孔洞里，阻止了相变材料在反复擦写过程中的扩散，更有利于降低存储单元的功耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 相变 存储器 器件 单元 结构 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1、一种相变存储器器件单元结构，其特征在于所述的相变存储器器件单元中的可逆相变材料和加热电极的横向尺度控制在同一纳米尺度范围，构成纳米尺度的小加热电极操作纳米尺度的小相变材料的结构；可逆相变材料限制在加热电极上端的同一介质孔洞里。
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