[发明专利]一种基于H型结构双边驱动系统的定位控制方法及装置有效
| 申请号： | 200810041732.X | 申请日： | 2008-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN101344730A | 公开（公告）日： | 2009-01-14 |
| 发明（设计）人： | 赵娟;吴立伟;陈锐 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王洁 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种应用于H型驱动结构中的定位控制方法及其装置，采用X向直线电机实现X轴的运动，采用Y1Y2双直线电机来实现Y轴的运动，通过Y1，Y2两个电机的交叉耦合来实现减小相对位置误差的控制，X轴与Y轴的交叉耦合来实现减小轮廓误差的控制对三个直线电机的交叉耦合控制来减小同步位置误差以及轮廓误差，从而实现双边驱动同步控制精密定位的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 结构 双边 驱动 系统 定位 控制 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种H型双边驱动定位系统，包括X向运动模块的设定点发生器(201)，用于设定运动台X向期望位置的指示信号，Y向运动的设定点发生器(202)，用于设定运动台Y向期望位置的指示信号；其特征在于：还包括同步耦合控制器(212)，用于调整Y1运动模块(208)与Y2运动模块(211)的之间的位置误差；轮廓误差控制器(220)，用于调整运动模块在XY向的轮廓误差。
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