[发明专利]电可再编程熔丝器件无效
| 申请号： | 200810041871.2 | 申请日： | 2008-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN101364588A | 公开（公告）日： | 2009-02-11 |
| 发明（设计）人： | 张挺;宋志棠;刘波;封松林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H01L23/525 | 分类号： | H01L23/525;H01L23/532 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 200050*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电可再编程熔丝器件，用于集成电路器件，其采用SixSb100－x(0≤x＜90)合金作为熔丝材料，利用电信号对熔丝进行可逆的编程操作，熔丝器件单元的电阻可在高、低电阻之间实现转换，从而实现对电路的修复操作。基于SiSb材料的熔丝器件的特点还在于对尺寸效应不敏感，熔丝器件在大小尺寸下都可实现可靠工作(熔丝线宽在数纳米到数毫米之间可调)，熔丝的低阻态具有较低的电阻值，高阻态具有较高的电阻值，是一种良好的熔丝器件。 | ||
| 搜索关键词： | 电可再 编程 器件 | ||
【主权项】：
1.一种电可再编程熔丝器件，用于集成电路器件，其特征在于：所述的电可再编程熔丝器件采用Sb材料或SiSb材料作为熔丝。
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