[发明专利]全折射式投影物镜有效
| 申请号： | 200810042325.0 | 申请日： | 2008-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN101349798A | 公开（公告）日： | 2009-01-21 |
| 发明（设计）人： | 孙文凤;储兆祥 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B9/60;G02B13/18;G02B1/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种全折射式投影物镜，用于将物平面内的图案投射到像平面内，所述投影物镜系统由25片光学镜片组成，从物面到像面依次排列有五个镜片组，其中，第一和第三镜片组具有负光焦度，第二、第四和第五镜片组具有正光焦度，本发明可以控制物方和像方远心度在3毫弧度以内，提高了光刻不同层之间的互联性能，另外减少镜片使用的数量，且使用同一材料的镜片，降低了制造成本和调试的难度。 | ||
| 搜索关键词： | 折射 投影 物镜 | ||
【主权项】：
1、一种全折射式投影物镜，用于将物平面内的图案投射到像平面内，所述投影物镜从物面到像面依次排列有五个镜片组，其特征在于：第一镜片组(G1)具有负光焦度，第二镜片组(G2)具有正光焦度，第三镜片组(G3)具有负光焦度，第四镜片组(G4)具有正光焦度，第五镜片组(G5)具有正光焦度，所述的全折射式投影物镜系统由25片光学镜片组成，且其中第一镜片组(G1)包含两片非球面镜片，第五镜片组(G5)至少包含连续三片月凸透镜片。
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