[发明专利]去除铝工艺中热交换器表面沉积的铝薄膜的方法有效
| 申请号： | 200810042592.8 | 申请日： | 2008-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN101664745A | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | 黄平;陆一峰;叶青;周琦 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04;B08B3/08;C23F1/36;H01L21/00;H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 2012*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种去除铝工艺中热交换器表面沉积的铝薄膜的方法，其包括下列步骤：(a)在所述热交换器表面沉积有铝薄膜的区域涂覆碱性溶液；(b)等待第一设定时间之后，使用去离子水浸湿的无尘布擦拭所述区域，擦拭的同时使用干燥空气或惰性气体吹干所述区域；(c)对所述热交换器进行第二设定时间的烘干处理。本发明提出的去除铝工艺中热交换器表面沉积的铝薄膜的方法，其能够有效地去除热交换器上的铝薄膜，避免因为更换热交换器所带来的高昂费用，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 去除 工艺 热交换器 表面 沉积 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种去除铝工艺中热交换器表面沉积的铝薄膜的方法，其特征在于包括下列步骤：(a)在所述热交换器表面沉积有铝薄膜的区域涂覆碱性溶液；(b)等待第一设定时间之后，使用去离子水浸湿的无尘布擦拭所述区域，擦拭的同时使用干燥空气或惰性气体吹干所述区域；(c)对所述热交换器进行第二设定时间的烘干处理。
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