[发明专利]半导体螺线管电感及其制作方法无效
| 申请号： | 200810044019.0 | 申请日： | 2008-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN101740195A | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 陈华伦;陈瑜;熊涛;罗啸;陈雄斌 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | H01F17/04 | 分类号： | H01F17/04;H01F41/00;H01L29/00;H01L29/82 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 顾继光 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体螺线管电感，包括多个上层金属条和多个下层金属条，一个磁心夹在所述上层金属条和所述下层金属条之间，所述上层金属条和所述下层金属条通过接触孔依次首尾相接，形成一个沿同一方向环绕磁心的螺线管，所述磁心周围包裹有绝缘介质。本发明还公开了一种半导体螺线管电感的制作方法，先光刻刻蚀形成下层金属条，然后在所述下层金属条上制作绝缘层，再在绝缘层上制作磁心，之后在磁心上再制作绝缘层，然后制作接触孔，将下层金属条的首尾端引出，最后在绝缘层上光刻刻蚀形成上层金属条。本发明通过采用不同层间金属条相互连接缠绕与磁心的方式，有效提高了磁感应强度，并且减少了半导体电感所占用的芯片面积，提高了芯片的集成度。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 螺线管 电感 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种半导体螺线管电感，其特征在于，包括多个上层金属条和多个下层金属条，一个磁心夹在所述上层金属条和所述下层金属条之间，所述上层金属条和所述下层金属条通过接触孔依次首尾相接，形成一个沿同一方向环绕所述磁心的螺线管，所述磁心周围包裹有绝缘介质。
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