[发明专利]一种乐甫波传感器PMMA波导膜的旋涂制备方法无效
| 申请号： | 200810045646.6 | 申请日： | 2008-07-25 |
| 公开（公告）号： | CN101412018A | 公开（公告）日： | 2009-04-22 |
| 发明（设计）人： | 蒋亚东;杜晓松;胡佳 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | B05D1/36 | 分类号： | B05D1/36;B05D7/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 610054四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种乐甫波传感器PMMA波导膜的旋涂制备方法，其特征在于，采用1，2-二氯乙烷为溶剂配制浓度为1-5wt％的PMMA溶液，经多次旋涂达到所需的波导厚度。本发明由于采用挥发性适中的1，2-二氯乙烷作为溶剂配制低浓度旋涂溶液，该溶液流动性好，粘度适中，保证波导膜具有很好的平整度和均匀性，减少了传感器的插损。尽管每次旋涂的厚度很薄，但经多次旋涂后波导层的厚度可以达到2μm以上，并能保持良好的平整度和均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 乐甫波 传感器 pmma 波导 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种乐甫波传感器PMMA波导膜的旋涂制备方法，其特征在于，采用1，2-二氯乙烷为溶剂配制浓度为1-5wt％的PMMA溶液，经多次旋涂达到所需的波导厚度。
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