[发明专利]一种多级吸附和多级再生提纯多晶硅尾气的方法无效
申请号: | 200810046388.3 | 申请日: | 2008-10-27 |
公开(公告)号: | CN101396632A | 公开(公告)日: | 2009-04-01 |
发明(设计)人: | 钟娅玲;张学文;钟雨明;曾启明;万冬;肖军 | 申请(专利权)人: | 四川亚连科技有限责任公司 |
主分类号: | B01D53/04 | 分类号: | B01D53/04;C01B33/03;C30B29/06;C30B28/14 |
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地址: | 610041四川省成都市高新区*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 一种多级吸附和多级再生提纯多晶硅尾气的方法,属吸附分离工程技术领域。包括多晶硅尾气在塔中的吸附过程、利用纯净氢气对塔的再生过程和对完成再生的塔进行冷却及升压的吸附准备过程,所述的吸附过程由至少两个塔串联吸附,且后一个塔的进料时间滞后前一个塔,所述的再生过程为多塔串级加热再生,且每个再生塔的加热都分为多级完成。优点是提高了吸附剂利用率,缩短了吸附周期。纯净氢气无动力循环的串级再生方式,使再生用氢气得到了充分有效的利用,大大降低了再生气用量,同时节约了动力设备投资及电力消耗。 | ||
搜索关键词: | 一种 多级 吸附 再生 提纯 多晶 尾气 方法 | ||
【主权项】:
1、一种多级吸附和多级再生提纯多晶硅尾气的方法,包括多晶硅尾气在塔中的吸附过程、利用纯净氢气对塔的再生过程和对完成再生的塔进行冷却及升压的吸附准备过程,其特征是:所述的吸附过程由至少两个塔串联吸附,且后一个塔的进料时间滞后前一个塔,所述的再生过程为多塔串级加热再生,且每个再生塔的加热都分为多级完成,再生塔的第一级加热再生由来自吸附准备过程中完成冷却准备功能的纯净氢气经过升温后,直接与吸附剂接触加热再生;第N级加热再生则由来自第N-1级加热再生的混合气经过升温后,直接与吸附剂接触加热再生。
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