[发明专利]激光光束M2因子矩阵的测量方法与测量仪器

摘要

一种激光光束M²因子矩阵的测量方法，步骤如下：(1)通过至少10个电荷耦合器件同时测量，得到被测激光同一时刻不同光程处的至少10个光斑图；(2)对步骤(1)得到的光斑图通过计算机处理，得到被测激光在实验室坐标系下的M²因子：M_x²、M_y²；(3)通过计算机将步骤(1)得到的各光斑图旋转α角，再按步骤(2)的处理方法得到旋转后的M²因子：M_x1²、M_y1²；(4)通过实验室坐标系下的M²因子、旋转后的M²因子和旋转角α，计算被测激光的M²因子矩阵。用于上述方法的测量仪由线性衰减器、分束器、聚焦器、分束器组、光电探测器、同步控制器、电荷耦合器件组、路由器和计算机组成。

主权项

1、一种激光光束M²因子矩阵的测量方法，其特征在于步骤如下：(1)通过至少10个电荷耦合器件同时测量，得到被测激光同一时刻不同光程处的至少10个光斑图；(2)对步骤(1)得到的被测激光的各光斑图通过计算机进行以下处理：①去除光斑图的背景噪声，计算其二阶距，得到被测激光同一时刻至少10个不同光程处的束宽，②根据被测激光同一时刻不同光程处的束宽及所对应的光程位置，采用拟合的方法，得到被测激光在实验室坐标系下的M²因子：(3)通过计算机将步骤(1)得到的被测激光的各光斑图旋转α角，再按步骤(2)的处理方法得到旋转后的M²因子：(4)通过实验室坐标系下的M²因子旋转后的M²因子以及各光斑图旋转的角度α，按照下式计算被测激光的M²因子矩阵：Mx2Mx12-Mx2·cos2α-My2·sin2α2·sinαcosαMx2·sin2α+My2·cos2α-My122sinαcosαMy2.]]>