[发明专利]薄膜电阻率自动测量仪无效
| 申请号： | 200810047031.7 | 申请日： | 2008-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN101241153A | 公开（公告）日： | 2008-08-13 |
| 发明（设计）人： | 王一楠;江建军;别少伟;刘成;杜刚;赵文峰;方超 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01R27/14 | 分类号： | G01R27/14 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 曹葆青 |
| 地址： | 430074湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种薄膜电阻率自动测量仪，包括四探针、恒流源、电压电流测量模块、控制器和电路切换模块，控制器、恒流源、电路切换模块和电压电流测量模块依次连接构成回路，电路切换模块的另外两端口分别连接控制器和四探针，电路切换模块根据来自控制器的电路切换信号选择四探针中的两根探针作为电流探针，另外两根探针作为电压探针，恒流源根据来自控制器(1)的电流控制信号产生恒定电流，使其通过电流探针，电压探针感应电势差，电压电流测量模块测量恒定电流和电势差传送给控制器，控制器计算电阻率。本发明避免了手动方式改变电路连接和探针位置调节，提高了薄膜电阻率测量的速度和精度。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 电阻率 自动 测量仪 | ||
【主权项】：
1、一种薄膜电阻率自动测量仪，包括四探针(6)、恒流源(4)和电压电流测量模块(5)，其特征在于，还包括控制器(1)和电路切换模块(2)，控制器(1)、恒流源(4)、电路切换模块(2)和电压电流测量模块(5)依次连接构成回路，电路切换模块(2)的另外两端口分别连接控制器(1)和四探针(6)，电路切换模块(2)根据来自控制器(1)的电路切换信号选择四探针(6)中的两根探针作为电流探针，另外两根探针作为电压探针，恒流源(4)根据来自控制器(1)的电流控制信号产生恒定电流，使其通过电流探针，电压探针感应电势差，电压电流测量模块(5)测量恒定电流和电势差传送给控制器(1)，控制器(1)计算电阻率。
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