[发明专利]圆柱体直径与形位误差综合测量仪

摘要

本发明涉及一种圆柱体直径与形位误差综合测量仪，由X、Z移动轴及超精密转台轴构成，能满足圆柱体全局尺寸、计算尺寸、形状误差、位置误差、锥度、非球面特征参数和非球面面轮廓度等测量要求。采用天然花岗岩作为测量仪底座、横梁、立柱、Z轴材料，由横梁、立柱组成龙门式支承结构，X、Z轴均安装光栅尺等组成闭环的超精密光栅位移测量系统，该发明不仅满足圆度圆柱度的高精度测量，而且利用高精度圆柱度仪的柱坐标测量精度方面的优势，可进行一些相关尺寸和形位的超精密零件的测量，不仅解决了一些超精密零件的相关形位和尺寸的超精密精度测量问题，还为精密超精密加工工艺现场增加一种关键的测量手段。

主权项

1、一种圆柱体直径与形位误差综合测量仪，包括底座(1)、安装在底座(1)上的立柱(2)、安装在立柱(2)上的横梁(3)，其特征在于：在横梁(3)上粘贴有光栅尺(4)，在横梁(3)的上下前后四个侧面上安装有气浮块(5)，气浮块(5)通过螺纹与支撑板(6)相连接，在支撑板(6)上固定安装有与底座(1)垂直的Z轴支撑块(7)，在Z轴支撑块(7)上部安装有伺服电机(8)，伺服电机(8)通过同步带(9)与同步带轮(10)相连接，同步带轮(10)与主动摩擦轮(11)同轴连接，主动摩擦轮(11)和从动摩擦轮(12)夹持着摩擦杆(13)，摩擦杆(13)与Z轴(14)刚性连接，Z轴(14)通过汽缸杆(15)与支架(16)相连接，支架(16)固定在Z轴支撑块(7)上，Z轴支撑块(7)内部安装有四个气浮块(17)，四个气浮块(17)夹持着Z轴(14)，在Z轴(14)的侧面上粘贴有超精密光栅尺(43)，在横梁(3)的右端安装有伺服电机(18)，伺服电机(18)通过同步带(19)与同步带轮(20)相连接，同步带轮(20)通过同步带(21)与同步带轮(22)相连接，同步带(21)与Z轴支撑块(7)相连接，在底座(1)内部安装有转台座(23)，转台座(23)与传动轴轴承座(24)通过紧配合相连接，传动轴轴承座(24)内部安装有隔套(25)和第I轴承(26)、第II轴承(27)，第I轴承(26)、第II轴承(27)与传动轴(28)配合连接，传动轴(28)下端部安装有同步带轮(29)，同步带轮(29)通过同步带(30)与伺服电机(31)相连接，伺服电机(31)固定在连接座(32)上，连接座(32)与转台座(23)相连接，连接座(32)左端安装有角度编码器(33)，角度编码器(33)下端部安装有同步带轮(34)，同步带轮(34)通过同步带(35)与同步带轮(36)相连接，同步带轮(36)与传动轴(28)连接，连接座(37)固定在传动轴(28)上端，连接座(37)通过销(38)与气浮轴(39)相连接，端盖(40)通过螺钉与连接盘(41)相连接，连接盘(41)通过螺钉与连接盘(42)相连接，连接盘(42)通过螺钉固定在转台座(23)上。