[发明专利]一种微型傅里叶变换光谱仪的制作方法

摘要

本发明涉及一种微型傅里叶变换光谱仪的制作方法，该方法首先制备平板基底；在基底的抛光面上制备与第一光轴和第二光轴相对应的第一光轴参考基准和第二光轴参考基准，及与各光学元件形状和位置相对应的平面图形或三维微结构作为各光学元件的基准或固定机构；然后逐个将各光学元件对准与其相对应的基准或固定机构，并调整其角度和位置，使各光学元件的角度及相互之间的相对位置能够更精确满足设计需要，因而采用本发明的方法能够保证微型傅里叶变换光谱仪高精度的需要。本发明可用于可见及红外波段工作的微型傅里叶变换光谱仪的制作。

主权项

1、一种微型傅里叶变换光谱仪的制作方法，其特征在于包括如下步骤：a、选取硅或玻璃或陶瓷或镍、铝、铜、钛、不锈钢作为基底材料，将基底材料制备成设定尺寸的平板基底，其上表面抛光；抛光面粗糙度不大于10微米，平面度不大于50微米；b、在基底的抛光面上制备与第一光轴和第二光轴相对应的第一光轴参考基准和第二光轴参考基准，及与各光学元件形状和位置相对应的平面图形或三维微结构作为各光学元件的基准或固定机构；c、将可见光激光光源放置在基底附近，调节激光光源使激光光轴位于第一光轴参考线的正上方并与第一光轴参考线相互平行；在激光光源附近放置一个小孔光阑，使激光光束由光阑孔通过；d、将第一阶梯镜(5)放置在基底上与其相对应的基准或固定机构上，调整第一阶梯镜(5)的位置和角度，当观察到经过第一阶梯镜(5)某一反射面反射的激光光束照射到光阑上的光斑与光阑孔重合时，固定第一阶梯镜(5)；e、移走激光光源附近的光阑，将分束器(3)放置在基底上与其相对应的基准或固定机构上，调整分束器(3)的位置和角度，当分束器(3)对准基底上与其相对应基准或固定机构后将其固定；将面阵探测器(7)放置在基底上与其相对应的基准或固定机构上，调整面阵探测器(7)位置和角度，当观察到面阵探测器(7)中央区域出现一个关于中心对称的半径最小的亮斑时，固定面阵探测器(7)；f、将第二阶梯镜(4)放置在基底上与其相对应的基准或固定机构上，调整第二阶梯镜(4)位置和角度，当观察到经过第二阶梯镜(4)反射的光束透过分束器(3)后在面阵探测器(7)上得到的亮斑与第一阶梯镜(5)反射的光束在面阵探测器(7)上得到的亮斑重合时，固定第二阶梯镜(4)；g、将会聚透镜组合(6)放置在基底上与其相对应的基准或固定机构上，调整会聚透镜组合(6)位置和角度，当观察到面阵探测器(7)中央区域出现一个半径最小的亮斑时，固定会聚透镜组合(6)；h、将激光光源换成一个扩展光源，并将准直系统(2)放置在基底上与其相对应的基准或固定机构上；在准直系统(2)与分束器(3)之间的第一光轴参考线上放置一个小孔光阑，此时精密调节准直系统(2)的角度和角度，当观察到两路光束在面阵探测器(7)上得到的亮斑重合时，移走光阑，固定准直系统(2)。