[发明专利]有机-无机复合型掺铒平面光波导放大器及其制备方法

摘要

本发明具体涉及采用新型有机聚合物材料为光波导包层，采用油酸表面修饰的LaF₃∶Er，Yb纳米颗粒掺杂的有机－无机杂化材料为芯层的条形光波导放大器及其制备方法。其依次由硅衬底、下包层、芯层和上包层组成，下包层和上包层是有机聚合物材料，芯层是油酸表面修饰的LaF₃∶Er，Yb纳米颗粒掺杂的有机－无机复合型材料，芯层的折射率大于下包层和上包层的折射率，下包层上有多个条形波导凹槽，条形波导凹槽内填充有芯层的有机－无机复合型材料，形成掩埋型结构。本发明器件的制作方法简单，容易控制聚合物芯层和包层材料的折射率差，并且容易控制每一层材料的厚度，器件成本低，增益性能好，成品率高，适合大批量生产。

主权项

1、有机-无机复合型掺铒平面光波导放大器，依次由硅衬底(1)、下包层(2)、芯层(3)和上包层(9)组成，其特征在于：下包层(2)和上包层(9)是有机聚合物材料，芯层(3)是油酸表面修饰的LaF3:Er，Yb纳米颗粒掺杂的有机-无机复合型材料，芯层(3)的折射率大于下包层(2)和上包层(9)的折射率，下包层(2)上有多个条形波导凹槽(11)，条形波导凹槽(11)内填充有芯层(3)的有机-无机复合型材料，形成掩埋型结构(12)。