[发明专利]一种用于硒化处理的高活性硒源的产生方法及装置和应用有效
| 申请号： | 200810053051.5 | 申请日： | 2008-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN101284654A | 公开（公告）日： | 2008-10-15 |
| 发明（设计）人： | 孙云;于涛;李凤岩;李宝璋;李长健;何青 | 申请（专利权）人： | 南开大学 |
| 主分类号： | C01B19/04 | 分类号： | C01B19/04;C01B19/02;C23C14/35;H01L31/18 |
| 代理公司： | 天津佳盟知识产权代理有限公司 | 代理人： | 侯力 |
| 地址： | 300071*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 一种用于硒化处理的高活性硒源的产生方法及装置和应用。本发明方法包括：将固态硒加热蒸发产生硒蒸汽；向上步产生的硒蒸汽中并入氢气，或氢气与氩气的混合气体；将上步混合气体进行等离子体辉光分解与合成，得到硒化氢及高活性的硒气氛。硒源产生装置包括一个密闭反应罐，反应罐内的固态硒源、阳极和阴极辉光电极、硒化氢反应腔，以及反应罐外的加热装置和激励电源，同时在反应罐侧壁上设有气体输入端口，反应罐顶部设有用气体输出端口。本发明既保留了固态硒低价无毒、容易运输和保存的优点，又可在硒化过程中在线制备硒化氢及高活性硒气氛，使之具有硒化氢的高活性硒源的特性，还可节省大量的硒原料，降低成本，具有重要的实用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 处理 活性 产生 方法 装置 应用 | ||
【主权项】：
1、一种用于硒化处理的高活性硒源的产生方法，其特征在于该方法包括：第一、将固态硒加热蒸发产生硒蒸汽；第二、向上步产生的硒蒸汽中并入氢气，或氢气与氩气的混合气体；第三、将上步混合气体进行等离子体辉光分解与合成，得到硒化氢及高活性的固态硒硒气氛。
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