[发明专利]高重复频率光子晶体光纤紫外超短脉冲激光加工机

摘要

本发明公开了一种高重复频率光子晶体光纤紫外超短脉冲激光加工机，属于激光技术领域。该加工机包括光子晶体光纤的或固体的飞秒激光振荡级、高功率大模场光子晶体光纤激光放大器、激光多倍频器、准直和聚焦系统、精度为纳米量级的精密三维微位移平台和计算机控制系统构成。该加工机具有重复频率高，结构简单，稳定性好，运行费用低、光束质量高、脉宽窄和高功率的优点。

主权项

1.一种高重复频率光子晶体光纤紫外超短脉冲激光加工机，其特征在于，该加工机包括光子晶体光纤或固体的飞秒激光振荡级(1)、高功率大模场光子晶体光纤激光放大器(2)、激光多倍频器(3)、准直和聚焦系统(4)、精度为纳米量级的精密三维微位移平台(5)和计算机控制系统(6)构成，装置中各部件的连接关系为，飞秒激光振荡器产生飞秒孤子或者自相似脉冲，作为大模场光子晶体光纤激光放大器的种子脉冲，经过放大和脉冲压缩后形成高重复率、高功率的飞秒级脉冲序列，然后进行多倍频，获得飞秒-皮秒量级的高重复频率的紫外激光；紫外激光经过准直和聚焦系统导入到加工件；加工件放置在精密三维微位移平台上，其行程由计算机系统控制，计算机还提供加工光源与加工件的同步控制。