[发明专利]一种微型光学器件及其制备方法有效
| 申请号： | 200810056983.5 | 申请日： | 2008-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN101246259A | 公开（公告）日： | 2008-08-20 |
| 发明（设计）人： | 陈庆华;吴文刚;王子千;闫桂珍;郝一龙;王阳元 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G03F7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐宁;关畅 |
| 地址： | 100871北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种微型光学器件及其制备工艺，其特征在于：它包括固定电极、可动电极、支撑梁、玻璃衬底、光反射模块和光纤固定模块；所述固定电极包括连接在所述玻璃衬底顶面两侧的梳齿式固定电极和固定在所述玻璃衬底顶面中部的平板式固定电极；所述可动电极为插设在所述梳齿式固定电极间的两梳齿式可动电极和分别位于所述平板式固定电极上方的两平板式可动电极；所述支撑梁包括折叠横梁和组合扭转梁，所述光纤固定模块上以所述光反射模块为中心，呈放射状设置有若干光纤槽，且每一所述光纤槽分别对准所述光反射模块上多个光反射面中的一个。本发明的制备工艺简单，与多种类型的MEMS器件工艺兼容，可用于实现功能更强大的微光集成系统。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 光学 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种微型光学器件，其特征在于：它包括固定电极、可动电极、支撑梁、玻璃衬底、光反射模块和光纤固定模块；所述固定电极包括连接在所述玻璃衬底顶面两侧的梳齿式固定电极和固定在所述玻璃衬底顶面中部的平板式固定电极；所述可动电极为插设在所述梳齿式固定电极间的两梳齿式可动电极和分别位于所述平板式固定电极上方的两平板式可动电极；所述支撑梁包括折叠横梁和组合扭转梁，所述折叠横梁包括通过短梁连接所述两可动电极的通梁，通过锚点悬浮固定在所述玻璃衬底上的折叠梁；所述组合扭转梁包括多个支梁，其中两所述支梁一端连接所述折叠横梁，另一端连接两可动电极的外侧；另两所述支梁的一端连接所述两可动电极的内侧，另一端连接光反射模块的尾部两侧，再两所述支梁一端连接所述折叠横梁，另一端连接所述光反射模块的尾部；所述光纤固定模块上以所述光反射模块为中心，呈放射状设置有若干光纤槽，且每一所述光纤槽分别对准所述光反射模块上多个光反射面中的一个。
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