[发明专利]一种微型光热驱动的控制方法及装置

摘要

本发明公开了一种微型光热驱动的控制方法及装置。采用激光束照射金属或聚乙烯材料的浅表面产生热区温度分布，使金属或聚乙烯材料产生伸缩，控制激光参数，直接实现对光热驱动机构的驱动。它具有激光控制器，激光束与微型驱动机构的对准定位装置以及光热驱动机构的静态和动态监控装置。本发明的优点是提出一种直接用激光实现机构驱动的新方法，驱动源与驱动机构相互独立，不需导线连接，易于微驱动机构的微小化和集成，调节激光控制器，可输出不同占空比、不同频率、不同功率的激光，从而无线控制驱动器产生不同频率的振动和输出不同大小的驱动力或偏转量，整个过程可通过显微监控系统实时在线观察研究，在方法和技术上均是对微型驱动技术的拓展。

主权项

1.一种微型光热驱动的控制方法，其特征在于在激光束照射下，金属或聚乙烯材料的浅表面产生热区温度分布，使金属或聚乙烯材料产生伸缩，热区温度分布随金属或聚乙烯材料、形状、尺寸、激光参数因素变化而变化，控制激光输出大小，用微纳米尺度光热效应产生的热膨胀，直接实现对光热驱动机构的驱动。