[发明专利]一种增强氧化锌薄膜发光的方法无效
| 申请号： | 200810061491.5 | 申请日： | 2008-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN101270468A | 公开（公告）日： | 2008-09-24 |
| 发明（设计）人： | 杨德仁;李东升;程培红 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/18;C23C14/54 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 | 代理人： | 韩介梅 |
| 地址： | 310027*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开的增强氧化锌薄膜发光的方法，采用的是在氧化锌薄膜上磁控溅射生长银纳米粒子。其制备是：将已生长有氧化锌薄膜的石英基底放入直流反应磁控溅射装置的反应室中，利用直流磁控溅射在氧化锌薄膜上沉积银纳米粒子。采用本发明可以增强氧化锌薄膜的发光效率，方法简单，整个发光体系结构简易，而且发光增强可通过溅射时间来控制，并且可同时实现带间发光增强和缺陷发光淬灭，可以被用作增强氧化锌等发光材料的发光强度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 增强 氧化锌 薄膜 发光 方法 | ||
【主权项】：
1.一种增强氧化锌薄膜发光的方法，其特征是步骤如下：将已生长有氧化锌薄膜的石英基底放入直流反应磁控溅射装置的反应室中，反应室真空度抽到5×10-3Pa，加热基底，使基底温度为200℃，以氩气为溅射气氛通入反应室，控制流量为30sccm，在10Pa压强下，以纯银为靶材，在氧化锌薄膜表面溅射生长银纳米粒子层，溅射电流和功率分别为0.2A和60W，溅射时间控制在20s-85s。
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