[发明专利]连续锁模近场光腔衰荡光谱分析装置

摘要

本发明涉及一种连续锁模近场光腔衰荡光谱分析装置。现有装置采用线型精细腔，光机定位要求高、结构复杂，不能对薄膜、界面等进行测试。本发明将相干光源出射光束分成具有不同偏振特性的两束，一束偏振光经过光学调制与控制构成测量光束，另一束经过频率调控形成锁模光束，两束光经过偏振分光镜统一路径后，入射单一光学元件构成的环形高精细度腔，出射光束经过偏振分光镜分光，锁模光束被探测后形成反馈信号控制移动部件，带动光学行波高精细度腔产生位移，入射光束与高精细度腔在测量时保持连续锁模。本发明精细腔构成简单，只有一个光学元件，结构简单稳定，对机械定位要求低，并且光谱分析测量对象可为薄膜、界面、纳米物质、流体。

主权项

1、连续锁模近场光腔衰荡光谱分析装置，包括相干光源、入射偏振分光镜、光束调制与控制器、频率调控器、分析控制单元、光学行波高精细度腔、探测偏振分光镜、锁模探测器，信号探测器，其特征在于：光束整形隔离部件、入射偏振分光镜和锁模光束反射镜依次置在相干光源的出射光束光路上，测量光束反射镜设置在入射偏振分光镜的出射s偏振态光束光路上；在测量光束反射镜的反射光路上依次设置有光学行波高精细度腔和探测偏振分光镜；合成偏振分光镜设置在测量光束反射镜和光学行波高精细度腔之间，位于测量光束反射镜的反射光路与锁模光束反射镜的反射光路的交点处，测量光束反射镜的反射光路与锁模光束反射镜的反射光路以合成偏振分光镜的偏振分光面对称；光束调制与控制器设置在测量光路上，频率调控器设置在锁模光路上；所述的测量光路为光通过入射偏振分光镜、测量光束反射镜和合成偏振分光镜的路径；所述的锁模光路为光通过入射偏振分光镜、锁模光束反射镜和合成偏振分光镜的路径；锁模探测器设置在探测偏振分光镜的透射光光路上，信号探测器设置在探测偏振分光镜的反射光光路上；所述的光学行波高精细度腔为等腰三角形棱镜或等腰梯形棱镜，两个腰为高反射率入射面和高反射率出射面、底面为内全反射面；移动部件与光学行波高精细度腔配合连接；相干光源、光束调制与控制器、频率调控器、移动部件、锁模探测器和信号探测器均与分析控制单元电连接。