[发明专利]钛酸铋镧(BLT)铁电薄膜的低温制备方法无效
| 申请号： | 200810062916.4 | 申请日： | 2008-07-10 |
| 公开（公告）号： | CN101318816A | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 王疆瑛 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | C04B35/462 | 分类号： | C04B35/462;C04B35/475;C04B41/50 |
| 代理公司： | 杭州赛科专利代理事务所 | 代理人： | 陈辉 |
| 地址： | 310018浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及用于铁电存储器的钛酸铋镧(BLT)铁电薄膜的低温制备方法。该制备方法由络合剂络合技术和水热反应低温制备技术两部分组成。首先采用络合剂络合技术以无机盐为原料配制钛酸铋镧(BLT)前驱体溶液并在清洗好的Pt/Ti/SiO2/Si衬底上旋转涂覆所需厚度的薄膜，在350－450℃进行热处理，然后将此热处理薄膜放入高压反应釜中进行水热化学反应；反应温度150－300℃、反应时间2－48小时；随炉冷却，洗涤，在80℃烘干，得到400－900nm厚度的钛酸铋镧(BLT)铁电薄膜。该方法制备工艺简单，制备温度低、操作方便，成本较低，可与微电子技术兼容。 | ||
| 搜索关键词： | 钛酸铋镧 blt 薄膜 低温 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、钛酸铋镧Bi3.15La0.75Ti3O12(BLT)的前驱体溶液，其特征在于：采用以硝酸铋、硝酸镧、钛酸丁酯、乙二醇和氨水等为原材料，以柠檬酸为鳌合剂，铁电相组分：硝酸铋，硝酸镧，钛酸丁酯的摩尔比为Bi∶La∶Ti＝3.15×(1.00-1.10)∶0.75∶3。
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