[发明专利]具有除霜增透保护膜的锗窗口及其制备方法

摘要

具有除霜增透保护膜的锗窗口及其制备方法，它涉及锗红外光学窗口的制备方法。它解决了现有锗窗口结霜和红外线透过率低的问题。本发明在锗片(5)的上表面叠加有界面绝缘薄膜层(3)、发热电阻薄膜层(2)和外表面绝缘薄膜层(1)，电极(4)设在发热电阻薄膜层(2)外表面的左右两端上。方法为：1.预处理锗片并对锗片进行刻蚀；2.制备界面绝缘薄膜层(3)；3.制备发热电阻薄膜层(2)；4.制作电极；5.制备外表面绝缘薄膜层(1)，在发热电阻薄膜层(2)上面沉积非晶金刚石为外表面绝缘薄膜层(1)，取出锗片，即制备成具有除霜增透保护膜的锗窗口。本发明的锗窗口在3.1～4.0μm波段处透过率由原来的50％增加到65％，除霜效果好。

主权项

1、具有除霜增透保护膜的锗窗口，它由外表面绝缘薄膜层(1)、发热电阻薄膜层(2)、界面绝缘薄膜层(3)、电极(4)和锗片(5)组成，其特征在于界面绝缘薄膜层(3)设在锗片(5)的上表面，在界面绝缘薄膜层(3)的上表面设有发热电阻薄膜层(2)，电极(4)设在发热电阻薄膜层(2)上表面的左右两端上，外表面绝缘薄膜层(1)设在发热电阻薄膜层(2)的上表面和两个电极(4)之间。