[发明专利]稀土掺杂钛酸铋铁电薄膜的低温光辐照制备方法

摘要

稀土掺杂钛酸铋铁电薄膜的低温光辐照制备方法，它涉及稀土掺杂钛酸铋铁电薄膜的制备方法。它解决了现有方法制备的钛酸铋铁电薄膜的抗疲劳特性差、剩余极化值小、储存的可靠性低以及在晶化过程中晶化温度过高等问题。该制备方法由制备稀土掺杂钛酸铋前驱体溶胶和溶胶制模两部分组成。本方法制备出来的铁电薄膜具有优异的抗疲劳特性、较大的极化强度、较高的储存可靠性和较低的晶化温度，本发明工艺简单、设备简单、制备周期短及所用原材料价格低廉、市场上即可购得、成本低。

主权项

1、稀土掺杂钛酸铋铁电薄膜的低温光辐照制备方法，其特征在于稀土掺杂钛酸铋铁电薄膜的制备方法由制备稀土掺杂钛酸铋前驱体溶胶和稀土掺杂钛酸铋前驱体溶胶制模两部分组成：一、制备所述稀土掺杂钛酸铋前驱体溶胶：a、依照化学式Bi4-xYxTi3O12，按化学计量比称取醋酸铋和稀土元素的硝酸盐粉末进行混合；其中Y为稀土元素，0＜x＜0.9；b、按以下比例向0.2～0.3g醋酸铋和稀土元素的硝酸盐混合粉末中加入冰乙酸和乙二醇，然后放在磁力搅拌器上搅拌18～25h，得溶液A；其中冰乙酸与乙二醇的体积都为1.8～2.5ml；c、将冰乙酸和乙二醇加入钛酸四丁酯中，放在磁力搅拌器上搅拌5～10min，得溶液B；其中冰乙酸与乙二醇的体积都为0.4～0.7ml，钛酸四丁酯的质量为0.18～0.2g；d、将溶液A滴加到溶液B中，继续搅拌2～3h，得均匀透明的稀土掺杂钛酸铋前驱体溶胶；二、稀土掺杂钛酸铋前驱体溶胶制膜：a、将制备好的稀土掺杂钛酸铋前驱体溶胶在波长为250～370nm的紫外光下辐照20～25h；b、在Si/SiO2/Ti/Pt基片上滴加已被光辐照的溶胶，在匀胶速度为2000～5000r/min的条件下旋转涂敷30～60s，得薄膜C；c、将薄膜C放在40～80℃下烘干；d、重复步骤b和步骤c4次，将烘干后的薄膜从室温以2～5℃/min的升温速度升温到300℃，保温10～30min；e、再重复步骤b和步骤c4次，继续以10℃/min的升温速度升温到500℃保温10～30min，即得到稀土掺杂钛酸铋铁电薄膜。