[发明专利]全自动玻璃真空系统排气台无效
申请号: | 200810067018.8 | 申请日: | 2008-05-05 |
公开(公告)号: | CN101276717A | 公开(公告)日: | 2008-10-01 |
发明(设计)人: | 匡正芳 | 申请(专利权)人: | 匡正芳 |
主分类号: | H01J9/385 | 分类号: | H01J9/385;H01J9/39;H01K3/22 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518026广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 一种全自动玻璃真空系统排气台,全玻璃真空系统包括全玻璃真空管路、连接待排气灯的玻璃耙子、四个电控玻璃阀门、玻璃氩气瓶、光电读出U形玻璃压力计。抽真空系统由玻璃扩散泵和机械真空泵组成,配有温度自动控制的烘箱,烘箱保温门以及烘箱自动升降的控制系统。本发明采用上述的技术方案,实现了玻璃真空系统的自动化。全自动玻璃真空系统排气台不仅密封性好,保持了玻璃真空系统真空保持时间远长于一般金属真空系统的优点,而且造价低廉,维修方便。完全排除了人为因素对产品品质的影响,降低了废品率,提高了生产效率。 | ||
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【主权项】:
1.一种全自动玻璃真空系统排气台,其特征在于:该排气台的核心是能自动控制的玻璃真空系统,玻璃真空系统包括全玻璃真空管路、连接待排气灯的玻璃耙子、四个电控玻璃阀门、玻璃氩气瓶、光电读出U形玻璃压力计,所有这些部件的连接都是玻璃烧接的,气密性很好,电控玻璃阀门分别是充氩阀,连接玻璃氩气瓶和玻璃耙子;玻璃压力计阀;真空阀,连接抽真空机械和玻璃真空系统;和放气阀,连接真空系统和大气,充氩管路和抽气管路分开,本排气台还配有温度自动控制的烘箱,烘箱保温门以及烘箱自动升降的控制系统,所述控制器按设定的排气工艺流程分别电连接四个电控玻璃阀门、光电读出U形玻璃压力计、真空泵和烘箱控制系统,该控制器可以是单片机、单板机、可编程控制器或一组继电器组成的控制器,带输出真空计的玻璃真空规接入真空系统,并和控制器电连接,实现全程真空度监控。
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