[发明专利]透射电镜微栅的制备方法有效
申请号: | 200810067934.1 | 申请日: | 2008-06-20 |
公开(公告)号: | CN101609771A | 公开(公告)日: | 2009-12-23 |
发明(设计)人: | 张丽娜;陈卓;冯辰;刘亮;姜开利;李群庆;范守善 | 申请(专利权)人: | 清华大学;鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 |
主分类号: | H01J9/00 | 分类号: | H01J9/00;H01J37/20;H01J37/02;H01J37/28 |
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地址: | 100084北京市海淀区清华园1*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种透射电镜微栅的制备方法,其包括以下步骤:提供多个金属网格间隔设置在一基底表面;从碳纳米管阵列中拉取获得至少一碳纳米管薄膜;将至少一碳纳米管薄膜覆盖在该多个间隔设置的金属网格上;使用有机溶剂处理该碳纳米管薄膜和金属网格;以及断开该多个金属网格之间的碳纳米管薄膜,从而形成多个透射电镜微栅。 | ||
搜索关键词: | 透射 电镜微栅 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种透射电镜微栅的制备方法,其包括以下步骤:提供多个金属网格间隔设置在一基底表面;从碳纳米管阵列中拉取获得至少一碳纳米管薄膜;将至少一碳纳米管薄膜覆盖在该多个间隔设置的金属网格上;使用有机溶剂处理该碳纳米管薄膜和金属网格;以及断开该多个金属网格之间的碳纳米管薄膜,从而形成多个透射电镜微栅。
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