[发明专利]多层敏感膜光腔结构肖特基势垒红外探测器

摘要

本发明公开了一种多层敏感膜光腔结构肖特基势垒红外探测器，它包括：金属反射镜、光腔介质、硅化物敏感膜、N型保护环、N+电极、P+电极、P型衬底和抗反射膜，其特征在于：所述的硅化物敏感膜可有多层；两两硅化物敏感膜间及其与光腔介质间都夹有P型无定形硅，各层硅化物敏感膜都与N型保护环连接；本发明选用三层硅化物敏感膜结构作为一种优选结构，硅化物敏感膜上下两面均为硅，经多次散射满足注入硅条件的热空穴可注入硅中，与常规结构相比热空穴注入硅中的几率增加约1倍；本发明的有益技术效果是：可将光电转换效率提高到常规肖特基势垒红外探测器的3倍以上，制作工艺与常规肖特基势垒红外探测器兼容。

主权项

1.一种多层敏感膜光腔结构肖特基势垒红外探测器，它包括：金属反射镜(1)、光腔介质(2)、硅化物敏感膜(3)、N型保护环(4)、N+电极、P+电极、P型衬底(5)和抗反射膜(7)，其特征在于：所述的硅化物敏感膜(3)可有多层；两两硅化物敏感膜(3)间及其与光腔介质(2)间都夹有P型无定形硅(6)；各层硅化物敏感膜(3)都与N型保护环(4)连接。