[发明专利]大尺度原子栅纳米测量装置无效
| 申请号： | 200810070359.0 | 申请日： | 2008-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN101358831A | 公开（公告）日： | 2009-02-04 |
| 发明（设计）人： | 罗静;詹捷;王春欢;龚文均 | 申请（专利权）人： | 重庆工学院 |
| 主分类号： | G01B7/28 | 分类号： | G01B7/28;G01B7/02 |
| 代理公司： | 重庆博凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李晓兵;李玉盛 |
| 地址： | 400054重庆*** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | 本发明公开了大尺度原子栅纳米测量装置，包括多级减振系统、基座；其特征在于：设置在基座上的组合减振平台上设置纳米进给工作台，可移动式纳米进给工作台上设置原子栅，纳米进给工作台带动原子栅移动；扫描隧道显微镜上的探针设置在原子栅上方，探针在压电陶瓷驱动器驱动下移动；信号采集器与扫描隧道显微镜相连接，脉冲电路将模拟信号转换为脉冲信号触发计数器计数，再输入计算机计算处理。本发明的测量装置，大大增加了测量范围，适应纳米构件加工技术的需要；在X方向的最大范围为20mm，在Y方向的最大范围为20mm；在X方向和Y方向上均可进行纳米测量，测量范围的大小决定于纳米进给工作台最大行程。 | ||
| 搜索关键词： | 尺度 原子 纳米 测量 装置 | ||
【主权项】：
1、大尺度原子栅纳米测量装置，包括多级减振系统、基座(4)；其特征在于：组合减振平台(5)设置在基座(4)上；在组合减振平台(5)上设置纳米进给工作台(6)，可移动式纳米进给工作台(6)上设置原子栅(7)，纳米进给工作台(6)移动时带动原子栅(7)移动；扫描隧道显微镜(13)上的探针(8)设置在原子栅(7)上方，探针(8)在压电陶瓷驱动器(9)驱动下移动；信号采集器(14)与扫描隧道显微镜(13)相连接，将隧道电流的周期变化采集后送入脉冲电路(15)，脉冲电路(15)将模拟信号转换为脉冲信号触发计数器(16)计数，再输入计算机(17)计算处理。
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