[发明专利]微波陶瓷元器件半成品自动微调装置及其微调方法

摘要

微波陶瓷元器件半成品自动微调装置及其微调方法，涉及一种微波陶瓷元器件谐振频率的调整。提供一种可实现调节过程自动化、元器件参数的实时检测和存储、可明显提高产品合格率的微波陶瓷元器件半成品自动微调装置及其微调方法。微调装置设谐振腔、样品传送装置、挡板、电机驱动与控制电路、矢量网络分析仪和激光机。将光束聚在半成品上，送至上下平行板之间；将半成品参数采集到计算机，与设定的调节参数对比，查看是否符合成品要求；若不符合，启动激光机，对半成品刻蚀，由计算机通过分析仪实时获取半成品的微调参数与设定加工参数比较，一致时停止刻蚀；存储半成品加工后的参数，控制电机进行传送下一个半成品；直至半成品加工完毕。

主权项

1.微波陶瓷元器件半成品自动微调装置，其特征在于设有开放型平行板谐振腔、样品传送装置、挡板、步进电机驱动电路、步进电机控制电路、电源、矢量网络分析仪、计算机和激光机；开放型平行板谐振腔设有上平行板和下平行板，上平行板中心设有用于透过激光光束的孔，上平行板与下平行板之间设支撑件，微波陶瓷元器件半成品放置于上平行板与下平行板中间；样品传送装置设有步进电机、主齿轮、传动齿轮、传送带和轴承，主齿轮设于步进电机主轴上，传送带的两端分别与主齿轮和传动齿轮连接，传动齿轮设于轴承上，传送带中轴线上间隔设置样品容器，传送带两侧分别留有传动齿轮耦合孔，在步进电机齿轮的带动下，进行样品的传送；挡板设于传送带的样品投放端；步进电机控制电路的输入端外接外部输入设备的指令输出端，步进电机控制电路的控制信号输出端接步进电机驱动电路的输入端，步进电机驱动电路的输出端接步进电机；电源分别与步进电机控制电路和步进电机驱动电路电连接；矢量网络分析仪通过GPIB接口卡与计算机连接，在计算机控制下，矢量网络分析仪的扫频信号输出端接第1同轴电缆一端，设于第1同轴电缆另一端的耦合环放置于上平行板与下平行板之间，第2同轴电缆的一端接矢量网络分析仪的输入端，设于第2同轴电缆另一端的耦合环放置于上平行板与下平行板之间，设于第1同轴电缆另一端的耦合环和设于第2同轴电缆另一端的耦合环分别放置在微波陶瓷元器件半成品两侧；激光机输入端通过激光机控制卡与计算机主板PCI插槽连接，激光机的启动信号和工作过程的激光强度由计算机控制。