[发明专利]一种用于薄膜太阳能电池的氧化锌铝靶材的制备方法有效
| 申请号： | 200810080155.5 | 申请日： | 2008-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN101440470A | 公开（公告）日： | 2009-05-27 |
| 发明（设计）人： | 康明生;魏雨;张德丰;马键凯;种景顺;岳学军;武喜红 | 申请（专利权）人： | 石家庄同人伟业科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;C23C14/34 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 董金国 |
| 地址： | 050035河北省石家*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 一种用于薄膜太阳能电池的氧化锌铝靶材的制备方法，包括以下步骤：(1)以锌盐和铝盐为原料，加纯水溶解，调pH至7.0～10.5，然后在水热条件下，控温90～140℃反应1.0～2.0小时；(2)过滤使产物和母液分离，用纯水洗涤、烘干，得到氧化锌铝粉体；(3)所得粉体在400～550℃煅烧2小时；(4)将步骤(3)所得粉体装入真空热压炉，抽真空1～100Pa，加压50～100MPa，然后慢慢升温，在1200～1400℃内保温烧结2～5小时，再缓慢降温，制得相对密度不低于95％的氧化锌铝(ZAO)陶瓷靶材。所制备的靶材用于镀膜制造成本经济且无毒，易于实现掺杂，且ZAO薄膜在等离子体中稳定性好，是ITO的替代产品，可广泛用于太阳能透明电极制造领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 薄膜 太阳能电池 氧化锌 铝靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种用于薄膜太阳能电池的氧化锌铝靶材的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：(1)以锌盐和铝盐为原料，加纯水溶解，并加碱调pH至7.0～10.5，然后在水热条件下，控制温度90～140℃转化反应1.0～2.0小时；(2)经过滤使产物和母液分离，用纯水洗涤、烘干，得到氧化锌铝粉体；(3)所得粉体在400～550℃煅烧2小时，制得靶材所需的氧化锌铝粉体；(4)将步骤(3)所制粉体装入真空热压炉，抽真空到1～100Pa，加压到50～100MPa，然后慢慢升温，温度在1200～1400℃内保温烧结2～5小时，再缓慢降温，制得相对密度不低于95％的氧化锌铝陶瓷靶材。
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